微导纳米(688147)首次覆盖报告：ALD设备领军者 向光伏、半导体延伸布局

　　深耕ALD 技术领域，向光伏、半导体领域延伸。公司于2015 年成立，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发生产和销售，基于ALD 技术向光伏、半导体领域扩展。全球首创将ALD 技术规模化应用于光伏领域，在PERC、TOPCon、XBC 以及钙钛矿领域均实现出货；在半导体领域，公司产品可应用于逻辑、存储、3D-IC 等镀膜制造领域。

    　　光伏N 型电池技术加速渗透，公司有望深度受益。光伏领域，公司基于深厚技术积累已研发出ALD、PECVD、PEALD、扩散炉等多款光伏设备产品，并持续推进以ALD 为核心的TOPCon 整线方案。伴随TOPCon、HJT、XBC技术等N 型电池加速渗透，我们预计2025 年公司设备市场空间有望达405.9亿元，22-25 年CAGR=78%。公司光伏镀膜设备性能参数领先，已覆盖隆基、通威、晶科、天合、晶澳等龙头厂商，形成长期合作关系，有望充分受益N 型电池大规模扩产。

    　　半导体设备市场快速增长，国产替代空间广阔。逻辑芯片领域，公司在国内首次成功将High-k 原子层沉积设备应用于28nm 集成电路制造前道量产线，打破垄断；存储芯片领域，公司ALD 设备在高K 栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。我们预计2025 年国内ALD 设备市场空间有望达126.6 亿元，22-25 年CAGR=24%。公司半导体ALD 产品可沉积金属薄膜，相比沉积非金属薄膜为主的拓荆科技等其他国内厂商具有差异化优势，有望在逻辑、存储、3D-IC 等领域快速渗透。

    　　投资建议：预计公司23-25 年归母净利润分别为1.3/3.13/5.46 亿元，同比+139.4%/+141.5%/+74.6%。考虑到公司作为国内ALD 设备龙头，光伏、半导体业务持续放量，给予公司24 年75xPE，目标价51.75 元，首次覆盖给予“买入”评级。

    　　风险提示：光伏装机不及预期；新技术渗透不及预期；新产品研发不及预期