存储专题：AI发展驱动HBM高带宽存储器放量

　HBM 是当前GPU 存储单元理想解决方案，AI 发展驱动HBM 放量。HBM（高带宽存储器，High Bandwidth Memory）是由AMD 和SK Hynix 发起的基于3D堆栈工艺的高性能DRAM，适用于高存储器带宽需求的应用场合。AI 大模型的数据计算量激增，需要应用并行处理数据的GPU 作为核心处理器，而“内存墙”的存在限制了GPU 数据处理能力，HBM 突破了内存容量与带宽瓶颈，可以为GPU 提供更快的并行数据处理速度，打破“内存墙”对算力提升的桎梏，被视为GPU 存储单元理想解决方案，将在AI 发展中持续收益。

    　　TSV 技术是HBM 的核心技术之一，中微公司是TSV 设备主要供应商。硅通孔技术（TSV）为连接硅晶圆两面并与硅衬底和其他通孔绝缘的电互连结构，可以穿过硅基板实现硅片内部垂直电互联，是实现2.5D、3D 先进封装的关键技术之一，主要用于硅转接板、芯片三维堆叠等方面。中微公司在2010年就推出了首台TSV 深孔硅刻蚀设备Primo TSV，提供的8 英寸和12 英寸硅通孔刻蚀设备，均可刻蚀孔径从低至1 微米以下到几百微米的孔洞，并具有工艺协调性。

    　　ALD 沉积在HBM 工艺中不可或缺，雅克科技是ALD 前驱体核心供应商，拓荆科技是ALD 设备核心供应商。由于ALD 设备可以实现高深宽比、极窄沟槽开口的优异台阶覆盖率及精确薄膜厚度控制，在HBM 中先进DRAM 加工工艺和TSV 加工工艺中是必不可少的工艺环节。雅克科技是国内ALD 沉积主要材料前驱体供应商，公司前驱体产品供应HBM 核心厂商SK 海力士，High-K、硅金属前驱体产品覆盖先进1bDRAM、200 层以上3DNAND 以及3nm 先进逻辑电路等。拓荆科技是国内ALD 设备的主要供应商之一，公司PEALD 产品用于沉积SiO2、SiN 等介质薄膜，在客户端验证顺利；Thermal-ALD 产品已完成研发，主要用于沉积Al2O3等金属化合物薄膜。

    　　HBM 主要应用2.5D+3D 先进集成，IC 载板是转接板核心材料。HBM 借助TSV技术实现2.5D+3D 先进集成，而IC 载板是集成电路先进封装环节的关键载体，建立IC 芯片与PCB 板之间的讯号连接。在目前应用较广的2.5D+3D的先进封装集成电路中，都采用IC 载板作为承载芯片的转接板，如AMD2015 年推出的Radeon R9 Fury X GPU 中使用了64nm 的TSV IC 载板作为转接板，NVIDIA 的Pascal 100 GPU 基于台积电16nm 工艺技术，连接在台积电64nm CoWoS-2 转接板上，然后封装在PCB 板上完成搭建。

    　　相关公司：中微公司、雅克科技、拓荆科技、兆易创新、北京君正。

    　　风险提示：HBM 下游需求不及预期，产业链相关企业发展进度不及预期。